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是以罗茨真空泵为主泵，无油往复真空泵为前级泵的真空取得机组。本机组通过电接点真空表(或压力变送器)和电气控制办理体系来完成罗茨真空泵、往复真空泵的主动启、停，主动过载、过热维护；和对各类外表、阀门进行主动控制的成套真空取得设备。
往复真空泵靠活塞往复运动使泵腔（气缸）的作业容积周期性地改变来抽气的真空泵，又称活塞真空泵。往复真空泵的结构与往复活塞紧缩机类似，作业时，吸气管接被抽真空容器，排气管直通大气。往复式真空泵归于低真空取得设备，用以从内部压力等于或低于一个大气压的容器中抽除气体。
因为罗茨真空泵的紧缩比较小，为了使罗茨往复泵真空机组能到达更高的真空度和更大的抽气功率，可采用多台罗茨真空泵与一台往复真空泵串联来组成多级罗茨往复泵真空机组。真空机组的级数是由作业真空度来决议的，一般真空机组的极限真空有必要比作业真空高半到一个数量级。
(2)转子具有十分杰出的几许对称性，故振荡小，工作平稳。转子间及转子和壳体间均有空隙，不必光滑，冲突丢失小，可大起伏的下降驱动功率，然后可完成较高转速；
(3)泵腔内无需用油密封和光滑，可削减油蒸气对线)泵腔内无紧缩，无排气阀。结构相对比较简单、紧凑，对被抽气体中的尘埃和水蒸汽不灵敏；